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CMOS제조공정.apk 1.0.0
Name: cmos제조공정.apk
ID: kr.ac.ekoreatech.vt.cmos2015
Version: 1.0.0
Size: 0 Mb



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CMOS제조공정 Details

본 어플리케이션은 한국기술교육대학교 가상훈련 콘텐츠 “CMOS 제조공정” 과정의 스마트패드 전용 버전 어플리케이션으로, 누구나 무료로 다운로드하여 이용하실 수 있습니다. [구성메뉴] - CMOS 공정개요 : MOSFET 동작원리 및 이론을 학습할 수 있다. - CMOS 공정기술 : 반도체 CMOS 제조 공정을 위한 주요 공정 및 장비 기술을 학습할 수 있다. - 소자 분리 : 마스크-분리층-트렌츠 형성(패턴/식각)-STI 형성-NWELLㆍPWELL 이온 주입 흐름을 학습할 수 있다. - 소자 형성 : 게이트(패턴/식각형성)-LDD 형성-NMOSㆍPMOS S/D 형성 흐름을 학습할 수 있다. - 소자 배선 : 컨택 형성(박막/패턴/패턴식각/금속채우기/평탄화)-금속 배선 막 형성-비아 배선 막 형성 흐름을 학습할 수 있다. - 소자 완성 : 배선층 적층 흐름을 학습할 수 있다.
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